主要产品有集成电路和外延用硼、磷、砷、锑等不同掺杂剂的各类硅单晶抛光片，如背处理（损伤吸杂、长多晶、长二氧化硅）抛光片、高平整度硅抛光片、优质外延衬底硅抛光片、薄型硅单晶抛光片、超重掺外延衬底硅单晶片；也可按客户特殊要求加工生产。产品具有电阻率均匀、平整度高、补偿度小、金属杂质含量低和吸除表面有源区金属杂质、防止自掺杂等优异性能，产品质量达国际和国内先进水平。